Senior Process Development Engineer (m/w/d) - Lithography

Jobübersicht

Wir suchen einen hochmotivierten Prozessentwicklungs- und Ausrüstungsingenieur (m/w/d), der die Prozessintegration, die Werkzeugqualifizierung und die kontinuierliche Verbesserung von Halbleiterfertigungsprozessen vorantreibt. Der Schwerpunkt der Tätigkeit liegt auf der Entwicklung robuster Prozessrezepte, der Verwaltung der Werkzeugleistung und der Unterstützung des Technologietransfers in einer hochvolumigen Fertigungsumgebung. Sie arbeiten mit funktionsübergreifenden Teams (F&E, Wartung, Qualität und Produktion) und externen Ausrüstungslieferanten zusammen, um Prozessstabilität, Ausbeuteziele und Kosteneffizienz zu erreichen

Prozessentwicklung und -optimierung:

• Entwicklung, Charakterisierung und Stabilisierung von Photolithographie-Prozessen (z.B. Resist-Beschichtung, Entwicklung und Belichtung) für neue Technologieknoten.
• Definition und Optimierung von Prozessfenstern mithilfe von DOE (Design of Experiments), SPC und fortgeschrittener Datenanalyse.
• Durchführung von Ursachenanalysen zu Ausbeuteausschlägen, Defektivität und Prozessabweichungen.
• Erstellung und Pflege von Prozesskontrollplänen, einschließlich der Kontrolle von kritischen Abmessungen (CD) und Überlagerungen, Schichtdicke, Gleichmäßigkeit und Fehlerdichte.

Ausrüstungstechnik:

• Leitung der Auswahl, Spezifikation und Installation von neuen Werkzeugen und technologischen Upgrades.
• Vorantreiben der Werkzeugqualifizierung (IQ/OQ/PQ) und der Prozess-/Werkzeugabstimmung im gesamten Maschinenpark.
• Überwachen und Verbessern der Betriebszeit von Anlagen, der MTBF (Mean Time Between Failure) und des Durchsatzes mithilfe von TPM-Methoden (Total Productive Maintenance).
• Zusammenarbeit mit Geräteanbietern zur Fehlerbehebung, Aufrüstung und Optimierung der vorbeugenden Wartung.

Datenanalyse und kontinuierliche Verbesserung:

• Analyse großer Datensätze aus der Inline-Messtechnik (z. B. CD-SEM, Ellipsometrie, AFM) und elektrischen End-of-Line-Tests, um Trends zu erkennen und Prozessabweichungen zu verhindern.
• Entwicklung automatisierter Skripte oder Dashboards für die Werkzeug- und Prozessüberwachung.
• Leitung von FMEAs und Risikobewertungen für die Einführung neuer Prozesse und Ausrüstungsänderungen.
• Vorantreiben der Kostenreduzierung durch Verbesserung der Zykluszeit, Optimierung der Verbrauchsmaterialien und Initiativen zur Reduzierung der Ausschusskosten (CoPQ - Cost of Poor Quality).

Zusammenarbeit und Dokumentation:

• Technische Unterstützung der Produktionsteams bei Prozess- und Anlagenproblemen.
• Zusammenarbeit mit globalen Ingenieurteams für Technologietransfer und Benchmarking.
• Dokumentation von Prozessrezepten, Arbeitsanweisungen, Spezifikationen und Änderungskontrollen in Übereinstimmung mit Qualitätsstandards (z. B. ISO9000, IATF).

Was Sie mitbringen sollten:

• Master- oder Bachelor-Abschluss in Elektrotechnik, Maschinenbau, Materialwissenschaften, Physik, Chemieingenieurwesen oder einem verwandten Bereich.
• Mehr als 5 Jahre Erfahrung in der Halbleiterprozess- oder Anlagentechnik in einer Fertigungsfabrik.
• Solides Verständnis von Halbleiter-Einzelprozessen, Tool-Hardware, Vakuumsystemen, RF-Plasma, thermischen Prozessen oder chemischen Reaktionen.
• Ausgeprägte analytische Fähigkeiten und Problemlösungskompetenz; Kenntnisse von Datenanalysetools und Programmiersprachen sind von Vorteil (z. B. JMP, R, Python, MATLAB usw.).
• Fließende Beherrschung der deutschen und englischen Sprache in Wort und Schrift (mindestens Niveau C1)

Kompetenzen