Jobübersicht

Wir suchen einen hochmotivierten Equipment Maintenance Engineer (m/w/d), der für die Aufrechterhaltung der Zuverlässigkeit, Verfügbarkeit und optimalen Leistung von Front-End-Halbleiterfertigungsanlagen verantwortlich ist, die in Metallisierungs- und Plasma-basierten Prozessen eingesetzt werden. Die Rolle legt den Schwerpunkt auf die Umsetzung präventiver und vorausschauender Wartungsstrategien, fortgeschrittener Fehlersuche, Ursachenanalyse und kontinuierlicher Verbesserungsinitiativen zur Unterstützung der Massenproduktion von Halbleitern.

Die Rolle umfasst eine enge Zusammenarbeit mit Process Engineering, Produktion, Instandhaltung und Anlagenlieferanten, um einen stabilen Betrieb der Anlagen zu gewährleisten, Ausfallzeiten zu minimieren, die Ausbeute zu verbessern und die strikte Einhaltung von Reinraumprotokollen und Kontaminationskontrollstandards sicherzustellen.

Stellenanforderungen

Anlagenzuverlässigkeit & Wartungstechnik

• Entwicklung und Verbesserung von präventiven/vorausschauenden Wartungsprogrammen für Metallisierungs- und Plasmaanlagen (PVD, E-Beam, Ion Beam Etch, PECVD)
• Leitung fortgeschrittener Fehlersuche und Ursachenanalyse über Vakuum-, RF-/DC-Plasma-, elektrische, mechanische, thermische und robotische Subsysteme hinweg
• Analyse von Fehlerprotokollen und Systemdaten zur Identifizierung von Verschlechterungstrends und Umsetzung von Korrekturmaßnahmen
• Unterstützung bei der schnellen Wiederherstellung von Anlagen zur Produktionsfähigkeit
• Überwachung kritischer Wartungsmaßnahmen einschließlich Kammerneubauten, Zielmaterialwechsel, Pumpenservice (Kryopumpen, Turbopumpen, Trockenpumpen), RF-Kalibrierung und Roboter-Ausrichtung

Optimierung der Anlagenleistung

• Zusammenarbeit mit dem Process Engineering zur Verbesserung der Prozessstabilität, Kammerabstimmung und Ausbeute
• Leitung von Initiativen zur Verbesserung von Zuverlässigkeitskennzahlen wie MTBF und MTBI durch Upgrades, Nachrüstungen und präventive Maßnahmen
• Durchführung statistischer Analysen (SPC, Trendanalysen, JMP oder ähnliche Tools) zur Identifizierung chronischer Probleme und Umsetzung von Korrekturplänen
• Unterstützung bei der Installation neuer Anlagen, Anlagenqualifikation und Prozessübertragungen

Vakuum- & Plasmasysteme & Kontaminationskontrolle

• Technische Führung für Vakuum- und Plasmasubsysteme einschließlich Pumpen, MFC-Kalibrierung, RF-Generatoren, Matching-Netzwerke, Plasmasysteme und Ionenstrahlsysteme
• Durchführung oder Überwachung von Lecktests, Vakuumdiagnosen und Kammerzustandsüberwachung
• Überwachung der Kammerreinigung, Konditionierung und Verifizierung nach Wartungsarbeiten, in Abstimmung mit dem Process Engineering zur Sicherstellung von Filmqualität und Leistungsfähigkeit

Technische Dokumentation, Zusammenarbeit & Sicherheit

• Pflege von Wartungsverfahren, Fehlersuchleitfäden und technischer Dokumentation
• Analyse von Ausfall- und Wartungsaufzeichnungen zur Identifizierung von Verbesserungsmöglichkeiten der Zuverlässigkeit
• Zusammenarbeit mit OEM-Lieferanten und Field-Service-Ingenieuren bei Fehlersuche, Upgrades und Ersatzteilstrategien
• Technische Anleitung von Technikern und Koordination mit Produktion, Instandhaltung, Prozess- und Qualitätsteams
• Sicherstellung der Einhaltung von EHS-Richtlinien einschließlich LOTO, Hochspannungssicherheit, chemischem Handling, Vakuumsicherheit und Reinraumstandards

Was Sie mitbringen sollten:

• Bachelor-Abschluss in Elektrotechnik, Maschinenbau, Mechatronik, Materialwissenschaften oder einem verwandten Ingenieurwesen; gleichwertige Erfahrung in der Halbleiterindustrie kann berücksichtigt werden
• 4-8 Jahre Erfahrung in der Unterstützung von Front-End-Halbleiterprozessanlagen, insbesondere in Metallisierung (PVD, E-Beam Evaporation), Plasmaverarbeitung (PECVD, Plasmaätzen) und Ionenstrahlsystemen
• Fundierte Kenntnisse in Vakuumsystemen (Kryopumpen, Turbopumpen, Trockenpumpen, RGA-Analyse), RF-/DC-Plasmasystemen, robotischen Wafer-Handlingsystemen und Gasversorgungssystemen mit Sicherheitsverriegelungen
• Erfahrung im Umgang mit Diagnosegeräten wie Oszilloskopen, Multimetern, Leckdetektoren, Vakuummessgeräten und Residual Gas Analyzern (RGA)
• Fähigkeit zum Lesen und Interpretieren von elektrischen Schaltplänen, mechanischen Zeichnungen und System-P&IDs
• Vertrautheit mit Methoden zur Zuverlässigkeitsanalyse und Problemlösung, einschließlich SPC, FMEA, 5-Why, Ishikawa und verwandten Ingenieurwerkzeugen
• Starke analytische Fähigkeiten und Fehlersuchekompetenz mit hohem Detailgrad
• Nachgewiesene Eigenverantwortung und Fähigkeit zur Zusammenarbeit mit Engineering-, Produktions- und Wartungsteams
• Effektive bereichsübergreifende Kommunikation und Fähigkeit zur Arbeit in schnelllebigen Reinraumfertigungsumgebungen
• Fließende Englisch- und Deutschkenntnisse in Wort und Schrift sind zwingend erforderlich

Kompetenzen